在激光切割過程中，產生焦點和被加工對象表面之間相對位置發生變化的因素很多，被加工工件表面凸凹不平、工件裝夾方式、機床的幾何誤差以及機床在負載力下的變形、工件在加工過程中的熱變形等都會造成激光焦點位置和理想給定位置(編程位置)發生偏差。有些誤差(如機床的幾何誤差)具有規律性，可以通過定量補償方法進行補償，但有些誤差為隨機誤差，只能通過在線檢測和控制來消除，這些誤差是：

1.工件幾何誤差

激光切割的對象為板材或覆蓋件型零件，由于各種因素的影響，加工對象表面具有起伏不平，且在切割過程中的熱效應的影響也會產生薄板零件的表面變形，對于一維激光加工，覆蓋件在壓制成型過程中也會產生表面的不平，所有這些，都會產生激光焦點與被加工對象表面的位置與理想位置發生隨機變化。

2.工件裝夾裝置產生的誤差

激光切割加工的工件是放在針狀工作臺上，由于加工誤差、長時間與工件之間的磨損和激光的燒傷，針床會出現凸凹不平，這種不平也會產生薄鋼板和激光焦點之間的位置的隨機誤差。

3.編程產生的誤差

在一維激光切割加工過程中，復雜曲面上的加工軌跡是通過直線、圓弧等擬合的，這些擬合曲線和實際曲線存在一定誤差，這些誤差使得實際焦點和加工對象表面的相對位置和理想編程位置產生一定誤差。而有些示教編程系統也會引入一些偏差。